半導(dǎo)體行業(yè),在芯片制造過程(如擴(kuò)散、薄膜沉積、刻蝕、離子注入)中,便會(huì)使用到各種易燃易爆、有毒有害的電子特氣。由于生產(chǎn)中的揮發(fā)、滲漏、密封不嚴(yán)、設(shè)備振動(dòng)等情況,一旦發(fā)生有毒有害氣體泄漏,哪怕是輕微的,都可能擴(kuò)散污染整條產(chǎn)品線,對人員和財(cái)產(chǎn)造成重大損失。除此以外,在化工和制藥等行業(yè),也同樣面臨有毒氣體泄漏的威脅。
霍尼韋爾全新推出
快速氣體泄漏響應(yīng)及低擁有成本的解決方案
Vertex VC4有毒氣體檢測儀
哪怕細(xì)微泄漏,在霍尼韋爾檢測儀面前都無處遁形!
亮點(diǎn)一:超高精度檢測,倍速響應(yīng)
Chemcassette®紙帶氣體偵測技術(shù)
半導(dǎo)體制造行業(yè)中有很多有毒氣體如PH3、HF、AsH3等在工作環(huán)境中的允許濃度極微,Vertex™ VC4(以下簡稱:VC4)有毒氣體檢測儀攻克半導(dǎo)體行業(yè)氣體檢測難題,可以監(jiān)測到運(yùn)營中的超低濃度有毒氣體泄漏,是擁有高成本效益的可靠選擇。
VC4有毒氣體檢測儀搭載霍尼韋爾的Chemcassette®紙帶氣體偵測技術(shù),可以快速準(zhǔn)確地檢測出劇毒氣體,檢測限低至十億分之一 (ppb),超低濃度氣體檢測也不在話下!
基于比色技術(shù),當(dāng)檢測到現(xiàn)場存在氣體泄漏時(shí),經(jīng)過化學(xué)處理的紙帶會(huì)呈現(xiàn)清晰醒目的色斑,不僅實(shí)現(xiàn)超低濃度監(jiān)測與及時(shí)報(bào)警,還能留存泄漏的物理證據(jù),設(shè)計(jì)先進(jìn)且人性化。
4點(diǎn)連續(xù)監(jiān)測,經(jīng)濟(jì)靈活
作為最新的無干擾、低維護(hù)和低擁有成本解決方案,VC4有毒氣體檢測儀是設(shè)置有4個(gè)檢測點(diǎn)的氣體檢測系統(tǒng),可連續(xù)同時(shí)偵測四個(gè)點(diǎn)位,更經(jīng)濟(jì),更靈活,有效助力企業(yè)提升安全性與生產(chǎn)效率。
超長采樣管及更大的采樣流量,倍速響應(yīng)
VC4有毒氣體檢測儀采樣距離可達(dá)120米,可以靈活布置采樣點(diǎn),幫助用戶節(jié)省管路成本。
同時(shí),每個(gè)測點(diǎn)的采樣流量可達(dá)到2.8LPM,使探測反應(yīng)更準(zhǔn),更快,更廣,更穩(wěn),極大地提高了對氣體泄漏的響應(yīng)時(shí)間,滿足最新的臺(tái)灣地區(qū)EPA要求。
背靠霍尼韋爾自身強(qiáng)悍的創(chuàng)新實(shí)力,加持本土化的生產(chǎn)和研發(fā),VC4有毒氣體檢測儀著眼于中國高科技企業(yè)需求,“中國味兒”十足!
憑借著立足中國本土的先天優(yōu)勢,VC4有毒氣體檢測儀的生產(chǎn)供貨和服務(wù)響應(yīng)都能實(shí)現(xiàn)快人一步。交貨期更短,還可以為中國企業(yè)提供更穩(wěn)定、更快捷的技術(shù)支持,輕松滿足半導(dǎo)體芯片、面板、光伏、化工和制藥等行業(yè)需求。
VC4有毒氣體檢測儀,可為泛半導(dǎo)體生產(chǎn)以及實(shí)驗(yàn)室,提供更靈活的配置方案。2021年面世的Vertex™ C有毒氣體檢測系統(tǒng),可以支持96點(diǎn)傳感器的氣體偵測,氣體泄漏響應(yīng)迅速,覆蓋高科技工廠中大部分的氣體檢測需求。